主な作業プロセスは以下の通りです:
(1)空調プロセッサーが空気(新鮮な空気)を必要な状態点に処理し、静圧ボックスとリターンエアミックスに送り、その後フィルターファンユニットのファンが高効率フィルター(HEPA)または超高効率空気フィルター(ULPA)で加圧されクリーンルームに送られます。
(2)元の古い空気が床や側壁を通ってドライコイルに戻り、乾燥コイル内で冷温(ホット)処理を行い、さらに加圧された機械に戻って静圧ボックスに戻すことで、この工程が完了します。
(3)乾燥コイルでの冷(熱)処理後、リターンプレスによって静圧ボックスに戻され、クリーンルームでの空気ろ過の全サイクルが完了します。
このようなシステムは、大型集積回路ウェハー、TFTディスプレイ、ソリッドステートハードディスクなど、超静音クリーンルームが必要な場所でよく使われます。
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今回は半導体応用で使われる用語を紹介します。
CUP中央ユーティリティプラント
OWW有機廃水
DAHW排水 アモニア水素化物廃棄物
PAWリン酸廃水
VMBバルブマニホールドボックス