ファンフィルターユニット(FFU)の性能試験方法
ファンフィルターユニット(FFU)の性能試験方法 —— CRAA標準案の解釈ファンフィルターユニットのテスト
要約CRAAドラフトの背景を紹介しますファンフィルターユニットのテスト.適用範囲、主な内容、および特性を含む規格の概要を示します。空力性能とエネルギー消費、気流速度の均一性、騒音、振動、全高調波歪み、ファンボックスの空気漏れなどの試験項目をカバーする性能試験方法に焦点を当てています。
キーワードファンフィルターユニット;性能試験方法;CRAA標準ドラフト
FK9926-D 電気キャビネット冷却ファンフィルターカットアウトサイズ 292mm
ファンフィルターユニットは、ファンとエアフィルターで構成される一種の空気浄化装置で、柔軟な全体的な設計、便利な設置と建設、シンプルで効果的なシール方法、制御が容易などの利点があり、クリーンルーム、特に電子クリーンプラントで広く使用されています。近年、国内の液晶パネル産業の急速な発展により、例えば、5世代パネル生産ラインには1200mm×1200mm(4×4フィート)FFUの約12,000台が必要、6世代ラインには約25,000台、8世代ラインには約42,000台、10世代ラインには約80,000台が必要です。さらに、機器側ファンフィルターユニット(EFU)の需要も高い。市場の需要の増加、生産能力の向上、生産技術の進歩に伴い、FFU の性能要件はますます高くなっています。ただし、市場に出回っているさまざまなメーカーのFFU製品の性能は異なり、使用される性能テスト方法も同じではなく、結果の比較可能性に欠けています。したがって、ユーザーがFFU製品を合理的に選択し、FFU製造業の良性の発展を促進するために、科学的かつ合理的で統一された標準化されたFFU性能試験方法基準を作成することが非常に重要です。
FFUの風量は通常、面速度によって与えられ、体積空気量は面速度にフィルターの有効空気流量面積を掛けたものに等しくなります。空気量はノズルグループを通して測定されます。ノズルの数とサイズは、ノズルの前後の静圧差が100Pa以上になるように適切でなければなりません。外部静圧は、残圧とも呼ばれ、FFUの気流路上の外部機器によって引き起こされる静圧損失、つまり、フィルター、ボックス構造などの抵抗を克服した後、外部換気システムが使用するためにFFUによって提供される空気の静圧値を指します。通常、FFU出口風速は低く、動圧は非常に小さいため、動圧値は無視され、全圧の代わりに静圧が使用されます。残圧は、FFU吸気口付近の静圧ボックスで測定します。FFU出口は大気に接続されているため、静圧ボックス内の静圧の絶対値が残圧です。体積空気量と残留圧力をテストする際には、電流、電圧、総入力電力、力率などの電気パラメータをテストして記録する必要があります。
