ファンフィルターユニット(FFU)性能試験方法 — CRAA標準ドラフトの解釈ファンフィルターユニットのテスト
概要CRAAドラフトの背景を紹介するファンフィルターユニットのテスト.適用範囲、主要内容、特徴を含む標準の概要を示します。この試験は性能試験方法に焦点を当てており、空力性能とエネルギー消費、気流速度の均一性、騒音、振動、全調和歪み、ファンボックスの空気漏れなどの試験項目をカバーしています。
キーワードファンフィルターユニット;パフォーマンステスト方法;CRAA標準ドラフト
FK9926-D 電気キャビネット冷却ファンフィルター切り欠きサイズ 292mm
ファンフィルターユニットは、ファンと空気フィルターからなる空気清浄装置の一種で、柔軟な設計、便利な設置と構造、シンプルで効果的な密閉方法、制御の容易さなどの利点を持ち、特に電子クリーンプラントで広く使用されています。近年、国内液晶パネル産業の急速な発展により、例えば5世代のパネル生産ラインには1200mm×1200mm(4×4フィート)のFFUで約12,000台、6世代ラインは約25,000台、8世代ラインは約42,000台、10世代ラインは約80,000台が必要です。さらに、機器側のファンフィルターユニット(EFU)の需要も高まっています。市場需要の増加、生産能力の増加、生産技術の進歩により、FFUの性能要求はますます高まっています。しかし、市場上の異なるメーカーのFFU製品の性能は異なり、使用される性能試験方法も一致せず、結果も比較に適していません。したがって、科学的かつ合理的、統一かつ標準化されたFFU性能試験方法基準の策定は、ユーザーがFFU製品を合理的に選択できるようにし、FFU製造業の健全な発展を促進するために非常に重要です。
FFUの空気体積は通常、面速度で表され、体積空気量は面速度にフィルターの有効流量面積を掛けたものに等しいです。空気の体積はノズルグループを通じて測定されます。ノズルの数とサイズは、ノズル前後の静圧差が100Pa以下に抑えられるように適切であるべきです。外部静圧は残留圧とも呼ばれ、FFU空気流路の外部機器による静圧損失、すなわちフィルターやボックス構造などの抵抗を克服した後、外部換気システムで使用される空気の静圧値を指します。FFUの出口風速は通常低く動圧が非常に小さいため、動圧値は無視され、総圧力の代わりに静圧が用いられます。残圧はFFU空気入口近くの静圧ボックスで測定されます。FFU出口は大気に接続されているため、静圧ボックス内の静圧の絶対値が残留圧力となります。体積空気の体積と残留圧力を試験する際には、電流、電圧、総入力電力、力率などの電気的パラメータをテストし記録する必要があります。